- 區廠商土地租金補助費：依實際承租之土地面積租金補助百分之五十至民國一百年為止
- 區廠商生產補助費：補助入區廠商以可行技術生產環境友善產品之費用，補助每廠初設資本額之十分之一為原則，並以貳仟伍佰萬元為上限。
- 區廠商/研究機構補助費 :依所提研究計畫內容，核定補助廠商/研究機構進行新產品/新技術研發之費用，每年以補助申請經費百分之五十為原則。執行期間以一年為原則，必要時得延長為兩年。屬先期研發者每案補助五百萬元為上限，屬試量產者每案補助一千萬元為上限。
- 「獎勵產業東移優惠貸款計畫」：提撥行政院開發基金的3.5％資金，以專案貸款方式協助高科技產業在東部地區投資。
- 區廠商購置自動化設備或技術資源回收設備或技術及防治污染設備或技術適用投資抵減辦法
- 區廠商於資源貧瘠或發展遲緩鄉鎮地區適用投資抵減辦法
其他依「促進產業升級條例」、「促進民間參與公共建設法」、「所得稅法」、「科學工業園區設置管理條例」及「加工出口區設置管理條例」可享有租稅減免
- 區廠商於「環保科技園區」內興建處理設施，得依「促進民間參與公共建設法」第三十八條規定辦理免徵關稅，亦得依民營事業污染防治設備低利貸款要點及其他相關法令規定辦理低利貸款
- 區廠商進口污染防治機（儀）器設備（零配件在內），得依海關進口稅則相關增註規定辦理免關稅
- 配合政府政策之銀行優惠貸款及依「中長期資金運用策劃及推動要點」取得貸款。
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